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应变压力传感器常见的几种类别分别是:组合式、膜片式、应变梁式、应变管式这四种。
组合式
组合式应变压力传感器中,其弹性敏感元件可分为感触元件和弹性应变元件。其中,感触元件把压力转换为力传递到弹性应变元件应变最敏感的部位,而应变片则贴在弹性应变元件的最大应变处。实践上,较庞杂的应变管式和应变梁式都属于这种型式。
感触元件有膜片、膜盒、波纹管、波登管等,弹性应变元件有悬臂梁、固定梁、Π形梁、环形梁、薄壁筒等。它们之间可依据不同须要组合成多种型式。应变式压力传感器重要用来测量流动介质动态或动态压力,例如能源管道装备的进出口吻体或液体的压力、内燃机管道压力等等。
膜片式
它的弹性敏感元件为周边固定圆形金属平膜片。膜片受压力变形时,中央处径向应变和切向应变均到达正的最大值,而边沿处径向应变到达负的最大值,切向应变为零。因而常把两个应变片分别贴在正负最大应变处,并接成相邻桥臂的半桥电路以取得较大敏锐度和温度弥补作用。采取圆形箔式应变计(见电阻应变计)则能最大限度地应用膜片的应变后果,这种传感器的非线性较明显。膜片式压力传感器的最新产品是将弹性敏感元件和应变片的作用集于单晶硅膜片一身,即采取集成电路工艺在单晶硅膜片上分散制造电阻条,并采取周边固定构造制成的固态压力传感器(见压阻式传感器).
应变梁式
测量较小压力时,可采取固定梁或等强度梁的构造。一种方式是用膜片把压力转换为力再通过传力杆传递给应变梁,两端固定梁的最大应变处在梁的两端和中点,应变片就贴在这些中央。这种构造还有其余情势,例如可采取悬梁与膜片或波纹管造成。
应变管式
应变管式亦称应变筒式,它的弹性敏感元件为一端关闭的薄壁圆筒,其另一端带有法兰与被测体系衔接。在筒壁上贴有2片或4片应变片,其中一半贴在实心局部作为温度弥补片,另一半作为测量应变片。当没有压力时4片应变片组成均衡的全桥式电路;当压力作用于内腔时,圆筒变造成“腰鼓形”,使电桥失去均衡,输入与压力成肯定关系的电压。